产品描述
颇尔UltiKleen G2 Excellar ER滤波器增强的保留率(ER)和改善了的不脱湿性的属性已启用，满足半导体制造商化学工艺过滤要求超过45纳米制造节点的关键。独特的设计关键，单次使用点过滤，高流量的过滤器使其特别适用于再循环浴应用。
UltiKleen G2 Excellar ER滤料采用Pall 's专有的分子表面裁剪(MST)技术;赋予聚四氟乙烯膜不脱湿的特性，无需在介质表面添加化学层。内膜上，提供了显著的超细孔基质，提高颗粒的保留到20纳米的尺寸。
结果是一个强大的，可靠的，化学清洁的过滤器，适用于侵略性高温清洗化学，包括水化学，如热SPM，SC-1和SC-2。
Me-KleenSM后调理工艺选项减少可提取总金属离子到低个位数PPB值。
•增强颗粒的保留(ER)
•坚固的不脱湿PTFE介质
•高流速
•超细多孔介质基质设计
•所有超高纯度含氟聚合物结构
•低萃取物(<30 ppb1总在5%的HCl提取1.5要24小时)
•提供预湿与全填充2 UPW包装作为标准
•100%完整性测试
•超低金属离子Me-Kleen选项
产品规格
建筑材料
过滤介质:表面改性聚四氟乙烯
介质支持:PFA/PTFE
内芯:PFA
外网罩:PFA
端盖母:PFA
壳体:PFA
o型圈选项:包封FEP的氟橡胶，Kalrez3和Chemraz4
1 . 13种元素的金属总浓度:Li、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、
Ni, Cu, Zn, Pb。
2 .包装完全充满超纯水。
3.Kalrez是E.I.杜邦·德·内穆尔公司的商标。
4.Chemraz是Green, Tweed & Co.的商标。
产品名称 | UltiKleen™ G2 Excellar ER Filters
| UltiKleen G2 Excellar ER KC Assemblies |
去除率 | 20nm | 20nm |
配置 | ABFG1 ABFG2 ABFG3 | T-flow, In-line, L-flow (10 in) |
过滤面积 | 1.9m2/20.5ft2 3.8m2/40.1ft2 5.4m2/61.5ft2 | 1.9m2/20.5ft2 |
＊高操作温度 | 170℃/388℉ | 170℃/388℉ |
＊高操作压力 | 0.59 MPaG (85.6 psig) @ 50 ºC / 120 ºF | 0.5 MPaG (73 psig) @ 25 ºC (77 ºF) 0.4 MPaG (58 psig) @ 60 ºC (140 ºF) 0.35 MPaG (51 psig) @ 90 ºC (194 ºF) 0.20 MPaG (29 psig) @ 120 ºC (248 ºF) 0.15 MPaG (22 psig) @ 150 ºC (302 ºF) 0.12 MPaG (17 psig) @ 170 ºC (338 ºF) |
订货信息 - UltiKleen G2 Excellar ER Filters
Pall Part Number = ABFG 1 GPK 3EH1 2
表格1 表格2
代码 | 标准长度(mm/in) |
1 | 244/10 |
2 | 478/20 |
3 | 726/30 |
代码 | 预湿选项 |
-K3 | 预湿过滤器（包装在去离子水中） |
-K7 | 预湿过滤器（包装在去离子水中）、低金属可溶出物5 |
表格2
订货信息 - UltiKleen G2 Excellar ER KC Assemblies
表格1 表格2
代码 | 标准长度(mm/in) |
G | N/A |
V | 可用 |
代码 | 标准长度(mm/in) |
T | T型流动 |
N | 直列式 |
L | L型流动 |
表格3
代码 | 进口、出口 | 通气口/排液口 头端 | 通气口/排液口 滤筒断 | MEMO |
12 | 3/4英寸公头 | 1/2英寸公头 | 1/2英寸公头 | T型流动/L型流动 |
12 | 3/4英寸公头 | 1/2英寸母头 | 1/2英寸母头 | Downstream venting-type |
12 | 3/4英寸公头 | 3/8英寸公头 | 3/8英寸公头 | In-line |
124 | 3/4英寸公头 | 1/4英寸公头 | 1/4英寸公头 | In-line |
128 | 3/4英寸公头 | 1/2英寸公头 | 1/2英寸公头 | Downstream venting-type |
13 | 3/4英寸母头 | 1/2英寸母头 | 1/2英寸母头 | T型流动 |
16 | 1英寸公头 | 1/2英寸公头 | 1/2英寸公头 | T型流动 |
16 | 1英寸公头 | 1/2英寸公头 | 1/2英寸母头 | Downstream venting-type |
16 | 1英寸公头 | 3/8英寸公头 | 3/8英寸公头 | In-line |
164 | 1英寸公头 | 1/4英寸公头 | 1/4英寸公头 | In-line |
168 | 1英寸公头 | 1/2英寸公头 | 1/2英寸公头 | Downstream venting-type |
17 | 1英寸母头 | 1/2英寸公头 | 1/2英寸公头 | In-line |
表格4 表格5
代码 | 连接 |
0 | 无接头 |
1 | 20系列(Flowell) |
2 | Super Pillar型（日本Pillar）3 |
51 | 喇叭口型 |
6 | FinalLock4 |
71 | Super Pillar 300P系列（日本Pillar） |
72 | Super Pillar 300P系列L型（日本Pillar） |
8 | 60系列（Flowell） |
9 | 11CR(Flowell) |
代码 | 预湿选项 |
-K3 | 预湿过滤器（包装在去离子水中） |
-K7 | 预湿过滤器（包装在去离子水中）、低金属可溶出物5 |
Dimensions by Configuration
In-Line | 标准长度 (L) (mm / in) | T型 | 标准长度 (L) (mm / in) | VT型 | 标准长度 (L) (mm / in) |
12E2 | 396.5/15.6 | 12E2 | 408/ 16.1 | 12E2 | 377 / 14.8 |
12E51 | 412 / 16.2 | 12E71 | 403 / 15.9 | 128E2 | 385 / 15.2 |
124E51 | 412 / 16.2 | 13E0 | 495 / 19.5 | 12E71/72 | 377 / 14.8 |
16E8 | 428 / 16.9 | 13E1 | 432 / 17 | 128E71/72 | 402 / 15.8 |
16E51 | 436 / 17.2 | 13E2 | 442 / 17.4 | 13E1 | 445 / 17.5 |
17E0 | 448 / 17.6 | 13E6 | 416 / 16.4 | 13E51 | 444 / 17.4 |
17E1 | 445 / 17.7 | 13E9 | 433 / 17.1 | 168E71/72 | 403 / 15.9 |
17E51 | 442 / 17.4 | 13E51 | 473 / 18.6 | ||
17E71 | 462 / 18.2 | 13E71 | 444 / 17.5 | ||
L型 | VL型 | ||||
12E2 | 408/ 16.1 | 12E2 | 440 / 17.35 |