产品描述迷你Gaskleen过滤器组件设计用于高纯度使用点气体过滤应用。•316L不锈钢电抛光外壳•全氟聚合物元件•广泛的化学相容性•高温高压能力•紧凑的尺寸，便于安装•100%完整性测试•洁净室制造和包装•100%氦气泄漏测试散装包装的数量为24件-减少包装废弃物 规格：材料•介质:PTFE•核心:PFAo型环:FEP封装氟碳•电抛光316L不锈钢住房材料•内表面光洁度≤0.50 μm /20 μin Ra操作条件•＊大工作压力:20.7 MPa @ 121°C/3000 psid @ 250°F•＊大正向压差:0.55 MPa @ 21°C/80 psid @ 70°F•＊大反向压差:0.34 MPa @ 21°C/50 psid @ 70°F•欧盟压力设备指令:已对程序集进行了评估SEP受到欧盟的压力设备的指令。程序集不是明显。过滤精度•   ≥ 3 nm过滤面积• 13.5 cm2 / 0.015 ft2连接形式•1 / 4 ”垫片密封(VCR1或兼容)•1 / 4”压缩密封(Swagelok1或兼容)泄漏等级•100%氦气泄漏测试10:9 atm•cm3/s•设计验证为10-11 atm•cm3/s产品型号说明长度（L）（in/mm）GLFPF3400VMM4SB241/4”垫片密封（VCR或兼容）外螺纹/外螺纹84/3.31GLFPF3400SM4SB241/4”垫片密封（Swagelok或兼容）内螺纹/外螺纹73/2.88 

产品描述PFA-Gaskleen ®6101系列过滤器组件专门设计为过滤≥3nm(0.003um)颗粒的氧气和特殊气体。 •316L不锈钢电抛光外壳•全含氟聚合物滤芯•化学兼容性强•耐高温和高压性能•有标准产品和小型产品供选择•多种连接方式可选•外形尺寸紧凑（直径为2.2"/56mm），安装简便•100%完整性检测•无尘制造和包装•100%氦气泄漏检测规格： 材料•电抛光316L不锈钢外壳•≤25uin/0.64um Ra内表面抛光•全含氟聚合物滤芯，100%完整性检测介质：PTFE      内芯和端盖：PFA440HPO型圈：包氟Viton1 橡胶操作条件•＊大工作压力:750 psig @ 250°F/52bar @ 121°C•＊大正向压差:100 psi @ 70°F /7bar @ 21°C•＊大反向压差:50 psid @ 70°F/3.4 bar @ 21°C 过滤精度•   ≥ 0.003 nm泄漏等级•100%氦气泄漏测试至10—7atm•cm3/s•设计验证为10—9 atm•cm3/s过滤面积•   232cm2 / 0.25 ft2包装•双层包装袋••外层包装袋：镀铝聚酯薄膜•内层包装袋：聚乙烯•N2吹扫 连接形式•1 / 4”垫片密封，外螺纹(VCR2或兼容)•1 / 4”压缩密封(Swagelok2或兼容)•3 / 8”垫片密封，外螺纹(VCR或兼容)•3 / 8”压缩密封(Swagelok或兼容) 1-     Viton1为Dupont Dow Elastomers的注册商标2-     VCR和Swagelok均为Swagelok Co.注册商标 订货型号/订货信息产品型号说明长度（L）（in/mm）GLFPF6101VM4标准PFA Gaskleen ,1/4”垫片密封（VCR或兼容）外螺纹/外螺纹5.56/141GLFPF6101SM4S标准PFA Gaskleen ,1/4”垫片密封（Swagelok或兼容）外螺纹/外螺纹5.56/141GLFPF6101SM6S标准PFA Gaskleen ,3/8”垫片密封（Swagelok或兼容）外螺纹/外螺纹5.81/148GLFPF6101VM6/8标准PFA Gaskleen ,3/8”垫片密封（VCR或兼容）外螺纹/外螺纹5.81/148GLFPF6101VM4小型PFA Gaskleen ,1/4”垫片密封（VCR或兼容）外螺纹/外螺纹4.94/125GLFPF6101VM6/8M小型PFA Gaskleen ,3/8”垫片密封（VCR或兼容）外螺纹/外螺纹5.00/127GLFPF6101SM4S小型PFA Gaskleen ,1/4”垫片密封（Swagelok或兼容）外螺纹/外螺纹4.19/106 

产品描述颇尔UltiKleen G2 Excellar ER滤波器增强的保留率(ER)和改善了的不脱湿性的属性已启用，满足半导体制造商化学工艺过滤要求超过45纳米制造节点的关键。独特的设计关键，单次使用点过滤，高流量的过滤器使其特别适用于再循环浴应用。UltiKleen G2 Excellar ER滤料采用Pall 's专有的分子表面裁剪(MST)技术;赋予聚四氟乙烯膜不脱湿的特性，无需在介质表面添加化学层。内膜上，提供了显著的超细孔基质，提高颗粒的保留到20纳米的尺寸。结果是一个强大的，可靠的，化学清洁的过滤器，适用于侵略性高温清洗化学，包括水化学，如热SPM，SC-1和SC-2。 Me-KleenSM后调理工艺选项减少可提取总金属离子到低个位数PPB值。                                                            •增强颗粒的保留(ER)•坚固的不脱湿PTFE介质•高流速•超细多孔介质基质设计•所有超高纯度含氟聚合物结构•低萃取物(<30 ppb1总在5%的HCl提取1.5要24小时)•提供预湿与全填充2 UPW包装作为标准•100%完整性测试•超低金属离子Me-Kleen选项  产品规格建筑材料过滤介质:表面改性聚四氟乙烯介质支持:PFA/PTFE内芯:PFA外网罩:PFA端盖母:PFA壳体:PFAo型圈选项:包封FEP的氟橡胶，Kalrez3和Chemraz4 1 . 13种元素的金属总浓度:Li、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni, Cu, Zn, Pb。2 .包装完全充满超纯水。3.Kalrez是E.I.杜邦·德·内穆尔公司的商标。4.Chemraz是Green, Tweed & Co.的商标。  产品名称UltiKleen™ G2 Excellar ER Filters UltiKleen G2 Excellar ER KC Assemblies去除率20nm20nm配置ABFG1          ABFG2         ABFG3T-flow, In-line, L-flow (10 in)过滤面积1.9m2/20.5ft2    3.8m2/40.1ft2    5.4m2/61.5ft21.9m2/20.5ft2＊高操作温度170℃/388℉170℃/388℉＊高操作压力0.59 MPaG (85.6 psig) @ 50 ºC / 120 ºF0.5 MPaG (73 psig) @ 25 ºC (77 ºF)0.4 MPaG (58 psig) @ 60 ºC (140 ºF)0.35 MPaG (51 psig) @ 90 ºC (194 ºF)0.20 MPaG (29 psig) @ 120 ºC (248 ºF)0.15 MPaG (22 psig) @ 150 ºC (302 ºF)0.12 MPaG (17 psig) @ 170 ºC (338 ºF) 订货信息 - UltiKleen G2 Excellar ER FiltersPall Part Number = ABFG 1 GPK 3EH1 2 表格1                                                表格2代码标准长度(mm/in)1244/102478/203726/30代码预湿选项-K3预湿过滤器（包装在去离子水中）-K7预湿过滤器（包装在去离子水中）、低金属可溶出物5表格2 订货信息 - UltiKleen G2 Excellar ER KC Assemblies表格1                                                    表格2代码标准长度(mm/in)GN/AV可用代码标准长度(mm/in)TT型流动N直列式LL型流动  表格3代码进口、出口通气口/排液口     头端通气口/排液口     滤筒断MEMO123/4英寸公头1/2英寸公头1/2英寸公头T型流动/L型流动123/4英寸公头1/2英寸母头1/2英寸母头Downstream   venting-type123/4英寸公头3/8英寸公头3/8英寸公头In-line1243/4英寸公头1/4英寸公头1/4英寸公头In-line1283/4英寸公头1/2英寸公头1/2英寸公头Downstream venting-type133/4英寸母头1/2英寸母头1/2英寸母头T型流动161英寸公头1/2英寸公头1/2英寸公头T型流动161英寸公头1/2英寸公头1/2英寸母头Downstream venting-type161英寸公头3/8英寸公头3/8英寸公头In-line1641英寸公头1/4英寸公头1/4英寸公头In-line1681英寸公头1/2英寸公头1/2英寸公头Downstream venting-type171英寸母头1/2英寸公头1/2英寸公头In-line  表格4                                                 表格5代码连接0无接头120系列(Flowell)2Super Pillar型（日本Pillar）351喇叭口型6FinalLock471Super Pillar 300P系列（日本Pillar）72Super Pillar 300P系列L型（日本Pillar）860系列（Flowell）911CR(Flowell)代码预湿选项-K3预湿过滤器（包装在去离子水中）-K7预湿过滤器（包装在去离子水中）、低金属可溶出物5 Dimensions by Configuration In-Line标准长度(L) (mm / in)T型标准长度(L) (mm / in)VT型标准长度(L) (mm / in)12E2396.5/15.612E2408/ 16.112E2377 / 14.812E51412 / 16.212E71403 / 15.9128E2385 / 15.2124E51412 / 16.213E0495 / 19.512E71/72377 / 14.816E8428 / 16.913E1432 / 17128E71/72402 / 15.816E51436 / 17.213E2442 / 17.413E1445 / 17.517E0448 / 17.613E6416 / 16.413E51444 / 17.417E1445 / 17.713E9433 / 17.1168E71/72403 / 15.917E51442 / 17.413E51473 / 18.617E71462 / 18.213E71444 / 17.5L型VL型12E2408/ 16.112E2440 / 17.35  

产品描述去离子水DIW及超纯水UHPW过滤器 •＊＊的高非堆成聚砜膜过滤介质•滤芯＊＊过滤精度范围0.05um至1.2um•出众的液体流动特性•比传统膜的过滤器有更长的在线寿命•高纯度聚丙烯硬件•端盖结构适用于各种滤壳产品规格滤芯材质•过滤介质：高非对称聚砜膜•硬件：聚丙烯•密封：热熔密封•O型圈（SOE）：硅橡胶（标准）•垫片（DOE）:Buna N (标准) ＊＊过滤精度：•0.05，0.1，0.2，0.45，0.65，0.8，1.2um 滤芯标称尺寸•外径：2.6”（6.6cm）•滤芯长度：4”（10.2cm),9.75”(24.8cm),10”(25.4cm）,19.5”(49.5cm),20”(50.8cm),29.25”(74.3cm),30”(76.2cm),39”(99.1cm),40”(102cm) ＊大正向压差•80 psid @68°F(5.5bar@20℃)•200 psid @203°F(1.4bar@95℃) 滤芯冲洗•用＊小量的冲洗使DIW达到18MΩ 预冲洗选项•应用户特殊要求可提供经18MΩ DIW预冲洗的过滤芯，此类产品在Water-Fine 产品型号后加“414”以示区别。滤芯性能参数WFN0.05WFN0.1WFN0.2WFN0.45WFN0.65WFN0.8WFN1.2＊＊过滤精度0.05um0.1um0.2um0.45um0.65um0.8um1.2um1psid 压力下的DIW流量（gpm/10”滤芯）1.0(3.8lpm)1.7(6.4lpm)3.0(11.4lpm)5.5(20.8lpm)6.0(22.7lpm)7.0(26.5lpm)8.0(30.2lpm) 产品应用•去离子水前端、终端过滤•去离子水使用点过滤•水性化学试剂的过滤

产品描述XpressKleen G2过滤器改进了PTFE膜过滤，使半导体制造商能够满足前沿器件制造工艺的关键化学过滤要求。XpressKleen过滤器在保持临界流体纯度的同时，可控制临界尺寸的颗粒。每个单长度过滤器保证总金属离子可提取量小于3ppb。XpressKleen过滤器的表面清洁度包括去除有机污染和表面颗粒。过滤器适用于使用从供应点(POS)到工艺点(POP)，以帮助定义一个污染控制系统，提供所需的流体纯度硅片。颇尔采用先进制造工艺(AMP)。它结合＊先进的洁净室制造专有的清洁方法。改进的统计过程控制(SPC)保证了可靠性和性能。不脱湿的XpressKleen G2过滤器适用于腐蚀性高温清洗化学品，以及溶剂和含水化学品，如SC1和SC2。 •超低萃取物•> 40纳米颗粒冲洗控制在UPW1•TOC、有机物、NVR控制•标准100%预湿胶囊与超纯水•高流速•T型流量G2 KC总成可配置下游排气口•一次性过滤器单元，过滤筒整体密封在外壳中•密封组件，更安全的处理和更快的更换•100%完整性测试 1         > 20纳米颗粒漂洗控制在UPW为5纳米和2纳米级 特点构成材质2部件材质滤材表面改性PTFE滤膜背衬PTFE / PFA内芯、网罩和端盖PFA壳体PFAO型圈选项3包封FEP的氟橡胶*2全氟聚合物材料，不使用PFOA。 3 其它选项请咨询工厂。  过滤精度和操作条件Kleen-Change® (KC)过滤精度2 nm5nm10nm12 nm15 nm 30 nm介质编码XP2XP5XP10XP12XP15XP15LXP30过滤面积2m2/21.5ft22.8m2/30.1ft22.8m2/30.1ft22.2m2/23.7ft21.9m2/20.5ft23m2/32.3ft21.9m2/20.5ft2金属提取物< 0.5 ppb6< 0.5 ppb6< 1 ppb6< 3 ppb6流量Inline, L-flow,   T-flow＊高操作温度185℃/365℉＊高操作压力0.49 MPaG ( 71 psig) @ 25°C (77°F)0.39 MPaG (56.6 psig) @ 60°C (140°F)0.34 MPaG (49.3 psig) @ 90°C (194°F)0.20 MPaG (29.0 psig) @ 120°C (248°F)0.15 MPaG (21.8 psig) @ 150°C (302°F)0.12 MPaG   (17.4 psig) @ 185°C (365°F)  Cartridge 过滤精度2 nm5nm10nm12 nm15 nm 30 nm介质编码XP2XP5XP10XP12XP15XP15LXP30过滤面积2m2/21.5ft22.8m2/30.1ft22.8m2/30.1ft22.2m2/23.7ft21.9m2/20.5ft23m2/32.3ft21.9m2/20.5ft2金属提取物<1 ppb6<1ppb6< 1 ppb6< 3 ppb6流量Inline,   L-flow, T-flow＊高操作温度185℃/365℉＊高操作压力0.59 MPaG   (85.6 psig) @ 50°C (120°F) Total metal concentrations in 13 elements for 30 nm, 15 nm, 12 nm and 10 nm: Li, Na, Mg, Al, K, Ca, Cr, Mn, Fe, Ni, Cu, Zn, Pb.5 Total metal concentrations in 19 elements for 5 nm: Al, Ba, B, K, Na, Fe, Li, Mg, Mn, Pb, Sn, Ti, Zn, Ni, Cu, Cr, Co, Ca, Ag.6 Total metal concentrations in 30 elements for 2 nm: Al, Ba, B, K, Na, Fe, Li, Mg, Mn, Pb, Sn, Ti, Zn, Ni, Cu, Cr, Co, Ca, Ag, Mo, Pd, Pt, Ru, As, Au, Cd, Sb, Sr, V, WXpressKleen G2 KC AssembliesLDF 1  2         1XP 3  4            E  5  表格1                   表格2                  表格3   代码过滤精度22nm55nm1010nm1212nm1515nm15L15nm3030nm                               代码下游通风口1N/A2Available代码流量TT-flowNAvailableLL-flow 表格4代码进口、出口通气口/排液口     头端通气口/排液口     滤筒断类型123/4英寸公头1/2英寸公头1/2英寸公头T型流动/L型流动123/4英寸公头1/2英寸母头1/2英寸母头DV type123/4英寸公头3/8英寸公头3/8英寸公头In-line1243/4英寸公头1/4英寸公头1/4英寸公头In-line1283/4英寸公头1/2英寸公头1/2英寸公头DV type133/4英寸母头1/2英寸母头1/2英寸母头T型流动161英寸公头1/2英寸公头1/2英寸公头T型流动161英寸公头1/2英寸公头1/2英寸母头DV type161英寸公头3/8英寸公头3/8英寸公头In-line1641英寸公头1/4英寸公头1/4英寸公头In-line1681英寸公头1/2英寸公头1/2英寸公头DV type171英寸母头1/2英寸公头1/2英寸公头In-line 表格57代码连接120系列(Flowell)82Super Pillar型951Flare style6FinalLock1071Super Pillar300P系列72Super Pillar 300P系列L型860系列(Flowell)911CR系列(Flowell) XpressKleen G2 FilterFG 1                      XP 2                3E 3 表格1                   表格2                            表格3                                  代码标准长度Inchmm11022522048代码过滤精度22nm55nm1010nm1212nm1515nm15L15nm3030nm代码O型圈材质H1FEP-encapsulated fluoroelastomerH11Kalrez11H35Perfrez12 11 Kalrez is a trademark of DuPont Performance Elastomers12 Perfrez is a trademark of Applied Seals North Americas