产品描述
XpressKleen G2过滤器改进了PTFE膜过滤，使半导体制造商能够满足前沿器件制造工艺的关键化学过滤要求。
XpressKleen过滤器在保持临界流体纯度的同时，可控制临界尺寸的颗粒。每个单长度过滤器保证总金属离子可提取量小于3ppb。
XpressKleen过滤器的表面清洁度包括去除有机污染和表面颗粒。过滤器适用于
使用从供应点(POS)到工艺点(POP)，以帮助定义一个污染控制系统，提供所需的流体纯度硅片。
颇尔采用先进制造工艺(AMP)。它结合＊先进的洁净室制造专有的清洁方法。改进的统计过程控制(SPC)保证了可靠性和性能。
不脱湿的XpressKleen G2过滤器适用于腐蚀性高温清洗化学品，以及溶剂和含水化学品，如SC1和SC2。
•超低萃取物
•> 40纳米颗粒冲洗控制在UPW1
•TOC、有机物、NVR控制
•标准100%预湿胶囊与超纯水
•高流速
•T型流量G2 KC总成可配置下游排气口
•一次性过滤器单元，过滤筒整体密封在外壳中
•密封组件，更安全的处理和更快的更换
•100%完整性测试
1 > 20纳米颗粒漂洗控制在UPW为5纳米和2纳米级
特点
构成材质2
部件 | 材质 |
滤材 | 表面改性PTFE |
滤膜背衬 | PTFE / PFA |
内芯、网罩和端盖 | PFA |
壳体 | PFA |
O型圈选项3 | 包封FEP的氟橡胶 |
*2全氟聚合物材料，不使用PFOA。
3 其它选项请咨询工厂。
过滤精度和操作条件
Kleen-Change® (KC)
过滤精度 | 2 nm | 5nm | 10nm | 12 nm | 15 nm
| 30 nm | |
介质编码 | XP2 | XP5 | XP10 | XP12 | XP15 | XP15L | XP30 |
过滤面积 | 2m2/21.5ft2 | 2.8m2/30.1ft2 | 2.8m2/30.1ft2 | 2.2m2/23.7ft2 | 1.9m2/20.5ft2 | 3m2/32.3ft2 | 1.9m2/20.5ft2 |
金属提取物 | < 0.5 ppb6 | < 0.5 ppb6 | < 1 ppb6 | < 3 ppb6 | |||
流量 | Inline, L-flow, T-flow | ||||||
＊高操作温度 | 185℃/365℉ | ||||||
＊高操作压力 | 0.49 MPaG ( 71 psig) @ 25°C (77°F) 0.39 MPaG (56.6 psig) @ 60°C (140°F) 0.34 MPaG (49.3 psig) @ 90°C (194°F) 0.20 MPaG (29.0 psig) @ 120°C (248°F) 0.15 MPaG (21.8 psig) @ 150°C (302°F) 0.12 MPaG (17.4 psig) @ 185°C (365°F)
| ||||||
Cartridge
过滤精度 | 2 nm | 5nm | 10nm | 12 nm | 15 nm
| 30 nm | |
介质编码 | XP2 | XP5 | XP10 | XP12 | XP15 | XP15L | XP30 |
过滤面积 | 2m2/21.5ft2 | 2.8m2/30.1ft2 | 2.8m2/30.1ft2 | 2.2m2/23.7ft2 | 1.9m2/20.5ft2 | 3m2/32.3ft2 | 1.9m2/20.5ft2 |
金属提取物 | <1 ppb6 | <1ppb6 | < 1 ppb6 | < 3 ppb6 | |||
流量 | Inline, L-flow, T-flow | ||||||
＊高操作温度 | 185℃/365℉ | ||||||
＊高操作压力 | 0.59 MPaG (85.6 psig) @ 50°C (120°F) | ||||||
Total metal concentrations in 13 elements for 30 nm, 15 nm, 12 nm and 10 nm: Li, Na, Mg, Al, K, Ca, Cr, Mn, Fe, Ni, Cu, Zn, Pb.
5 Total metal concentrations in 19 elements for 5 nm: Al, Ba, B, K, Na, Fe, Li, Mg, Mn, Pb, Sn, Ti, Zn, Ni, Cu, Cr, Co, Ca, Ag.
6 Total metal concentrations in 30 elements for 2 nm: Al, Ba, B, K, Na, Fe, Li, Mg, Mn, Pb, Sn, Ti, Zn, Ni, Cu, Cr, Co, Ca, Ag, Mo, Pd, Pt, Ru, As, Au, Cd, Sb, Sr, V, W
XpressKleen G2 KC Assemblies
LDF 1 2 1XP 3 4 E 5
表格1 表格2 表格3
代码 | 过滤精度 |
2 | 2nm |
5 | 5nm |
10 | 10nm |
12 | 12nm |
15 | 15nm |
15L | 15nm |
30 | 30nm |
代码 | 下游通风口 |
1 | N/A |
2 | Available |
代码 | 流量 |
T | T-flow |
N | Available |
L | L-flow |
表格4
代码 | 进口、出口 | 通气口/排液口 头端 | 通气口/排液口 滤筒断 | 类型 |
12 | 3/4英寸公头 | 1/2英寸公头 | 1/2英寸公头 | T型流动/L型流动 |
12 | 3/4英寸公头 | 1/2英寸母头 | 1/2英寸母头 | DV type |
12 | 3/4英寸公头 | 3/8英寸公头 | 3/8英寸公头 | In-line |
124 | 3/4英寸公头 | 1/4英寸公头 | 1/4英寸公头 | In-line |
128 | 3/4英寸公头 | 1/2英寸公头 | 1/2英寸公头 | DV type |
13 | 3/4英寸母头 | 1/2英寸母头 | 1/2英寸母头 | T型流动 |
16 | 1英寸公头 | 1/2英寸公头 | 1/2英寸公头 | T型流动 |
16 | 1英寸公头 | 1/2英寸公头 | 1/2英寸母头 | DV type |
16 | 1英寸公头 | 3/8英寸公头 | 3/8英寸公头 | In-line |
164 | 1英寸公头 | 1/4英寸公头 | 1/4英寸公头 | In-line |
168 | 1英寸公头 | 1/2英寸公头 | 1/2英寸公头 | DV type |
17 | 1英寸母头 | 1/2英寸公头 | 1/2英寸公头 | In-line |
表格57
代码 | 连接 |
1 | 20系列(Flowell)8 |
2 | Super Pillar型9 |
51 | Flare style |
6 | FinalLock10 |
71 | Super Pillar300P系列 |
72 | Super Pillar 300P系列L型 |
8 | 60系列(Flowell) |
9 | 11CR系列(Flowell) |
XpressKleen G2 Filter
FG 1 XP 2 3E 3
表格1 表格2 表格3
代码 | 标准长度 | |
Inch | mm | |
1 | 10 | 225 |
2 | 20 | 48 |
代码 | 过滤精度 |
2 | 2nm |
5 | 5nm |
10 | 10nm |
12 | 12nm |
15 | 15nm |
15L | 15nm |
30 | 30nm |
代码 | O型圈材质 |
H1 | FEP-encapsulated fluoroelastomer |
H11 | Kalrez11 |
H35 | Perfrez12 |
11 Kalrez is a trademark of DuPont Performance Elastomers
12 Perfrez is a trademark of Applied Seals North Americas